工业制氧设备厂家认为我国大型工业制氧设备早期采用两级湿式真空泵，采用高压比工艺(压比大于4)。与单级湿式真空泵相比，两级湿式真空泵具有高负压、低能耗的优点，但两级湿式真空泵也存在售价高、二级小泵负荷大、级间止回阀易损坏、安装复杂等缺点。目前，国内外均采用低压比工艺。综合考虑，国内PSA制氧设备大多采用单级湿式真空泵。国外大型真空工业制氧设备绝大多数采用干式单级罗茨真空泵，制氧机价格，减少了一个软水装置。
工业制氧机主要由鼓风机、真空泵、开关阀、吸附器和氧气平衡罐组成。在通过抽吸过滤器从原料中除去尘粒后，空气由罗茨鼓风机加压至0.3-0.5巴，并进入其中一个吸附器。吸附器内填充吸附剂，其中水、二氧化碳和少量其他气体成分被吸附器入口处底部填充的活性氧化铝吸附，然后氮气被填充在活性氧化铝上部的沸石分子筛吸附。而氧气(包括气)是非吸附组分，其作为产品气体从吸附器的顶部出口排放到氧气平衡罐。当吸附器吸附到一定程度时，其中的吸附剂将达到饱和状态。此时用真空泵通过切换阀进行抽真空(与吸附方向相反)，真空度为0.65-0.75barg，将吸附的水分、二氧化碳、氮气和少量其他气体成分抽出排放到大气中，吸附剂再生。
工业氧气机运行时，记得确保电压稳定。如果电压过高或过低，仪器就会烧坏。所以正规厂家会配备智能监控低压高压报警系统，制氧机，电源底座配有保险丝盒。对于偏远农村、线路陈旧的老旧小区或工业发达地区的用户，建议购买调压器。符合标准的工业制氧机具有24小时不间断运行的技术性能，集成制氧设备投放，所以每天都要使用。短时间外出，制氧机投放，需要关闭流量计，倒出加湿杯中的水，切断电源，放在干燥通风的地方。
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